[发明专利]基板输送系统

摘要

本发明提供在基板的收纳盒和处理装置之间输送基板的基板输送系统。该基板输送系统具有：可同时输送多张基板的第一传送机，与所述第一传送机连续配置、在所述输送方向可将所述多张基板单独地输送的第二传送机，具有放置所述第二传送机上的所述基板的放置部、在所述第二传送机上在与所述输送方向正交的方向移动所述基板的移动单元，使所述放置部与所述第二传送机相对升降的升降单元。

主权项

一种基板输送系统，在收纳基板的收纳盒和处理所述基板的处理装置之间输送基板，其特征在于，具备：第一传送机，该第一传送机配置在所述收纳盒侧，具有能够在与所述基板的输送方向正交的方向排列放置多张基板的宽度，能够在所述输送方向同时输送所述多张基板，第二传送机，该第二传送机在所述处理装置侧与所述第一传送机连续配置，具有能够在与所述输送方向正交的方向上排列放置所述多张基板的宽度，能够在所述输送方向将所述多张基板单独地输送，移动单元，该移动单元具有放置所述第二传送机上的所述基板的放置部，在所述第二传送机上在与所述输送方向正交的方向移动所述基板，升降单元，该升降单元使所述放置部和所述第二传送机相对地升降，和检测所述第二传送机上的所述基板的尺寸的传感器。