[发明专利]一种用于微器件真空度测量的标定盒及使用方法无效
| 申请号： | 201110408429.0 | 申请日： | 2011-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN102419236A | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | 陈火 | 申请（专利权）人： | 烟台睿创微纳技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 264006 山东省烟台市经济技术*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于微器件真空度测量的标定盒，其内设有用于放置微器件的微器件管壳，所述微器件管壳上设有真空传感器，该标定盒包括盒体和上盖，所述上盖上设有用于测量标定盒内真空度的真空测量规，所述盒体上设有与外部真空泵连接的真空抽气管、用于调节标定盒内真空度的真空调压针阀，以及与真空传感器连接的用于测量所述真空传感器电压的测量导线，所述测量导线与外接恒流电源连接。本发明还涉及一种用于微器件真空度测量的标定盒的使用方法。本发明的有益效果是：可通过安装真空测量规准确测量标定盒内的真空度，使获得器件微小腔体内真空度与电压测量值点对点的关系曲线成为可行，且其重复性很高，测量可靠性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 器件 真空 测量 标定 使用方法 | ||
【主权项】：
一种用于微器件真空度测量的标定盒，其内设有用于放置微器件的微器件管壳，所述微器件管壳上设有真空传感器，其特征在于：该标定盒包括盒体和上盖，所述上盖上设有用于测量标定盒内真空度的真空测量规，所述盒体上设有与外部真空泵连接的真空抽气管、用于调节标定盒内真空度的真空调压针阀，以及与真空传感器连接的用于测量所述真空传感器电压的测量导线，所述测量导线与外接恒流电源连接。
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