[发明专利]面发射激光器有效
申请号: | 201110409245.6 | 申请日: | 2011-12-09 |
公开(公告)号: | CN102545039A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 井久田光弘 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01S5/065 | 分类号: | H01S5/065;H01S5/183;G03G15/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 李颖 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及面发射激光器。所述面发射激光器包括台阶状结构,所述台阶状结构包含具有不同厚度的部分。在台阶状结构的所述部分中的每一个中,从在台阶状结构之上限定的并且与基板平行地延伸的平面到上部反射镜与台阶状结构之间的界面的光路长度被设为特定的值。 | ||
搜索关键词: | 发射 激光器 | ||
【主权项】:
一种被配置为以波长λ进行振荡的面发射激光器,包括:基板;多层结构,设置在基板上,并且包含下部反射镜、活性层和上部反射镜;以及第一台阶状结构,被设置在上部反射镜上,并且包含在发射区域的中心部分中限定的第一区域中延伸的部分和在发射区域内的第一区域的外侧限定的第二区域中延伸的部分,这些部分具有不同的厚度,其中,第一台阶状结构包含第一结构,所述第一结构由具有比环境介质的折射率n0大的折射率n1的第一材料制成,其中,使第一结构的在第一区域和第二区域中的实际厚度分别为d11和d12,则以下的关系成立:|n1(d11‑d12)|=λ/4×(2M‑1),这里,M是整数,以及其中,关于从在第一台阶状结构之上限定的并且与基板平行地延伸的平面到上部反射镜与第一台阶状结构之间的界面的光路长度,第一区域中的光路长度L1和第二区域中的光路长度L2对于使|L2‑L1‑Nλ|最小化的整数N满足以下表达式:|L2‑L1‑Nλ|<(λ/4)×(1‑n0/n1)。
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