[发明专利]一种抗氧化泡生炉及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201110409934.7 申请日: 2011-12-09
公开(公告)号: CN102492981A 公开(公告)日: 2012-06-13
发明(设计)人: 翟剑庞;成关勇;黄镜蓁;吴焕逸 申请(专利权)人: 中山兆龙光电科技有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/20;C23C14/30;C23C14/08
代理公司: 中山市科创专利代理有限公司 44211 代理人: 尹文涛
地址: 528400 广东省中山*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种抗氧化泡生炉及其制备方法,其特征在于:包括炉体,在所述的炉体内设有钨钼内反射屏,在所述的钨钼内反射屏上镀有一层抗氧化的薄膜层。制备方法:将二氧化锆粉末研磨均匀,用压片机将其锻压成二氧化锆薄片;将二氧化锆薄片放到电子束蒸发镀膜仪的电子束铜靶上,向用于制作泡生炉内反射屏的钨钼板材上镀一层氧化锆薄膜;采用所述的板材制作内反射屏,即可。本发明的目的是提供一种结构简单,能有效降低内反射屏在高温下的氧化和消耗,从而使使用寿命增加,减少运营成本的抗氧化泡生炉。本发明方法简单,对温场和蓝宝石的生长影响较小,可靠,易于推广。
搜索关键词: 一种 氧化 泡生炉 及其 制备 方法
【主权项】:
一种抗氧化泡生炉,其特征在于:包括炉体,在所述的炉体内设有钨钼内反射屏,在所述的钨钼内反射屏上镀有一层抗氧化的薄膜层。
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