[发明专利]CVD工艺的尾气净化装置有效
| 申请号： | 201110413957.5 | 申请日： | 2011-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103157359A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 吴啸;冯金良;梁浩;胡锡峰 | 申请（专利权）人： | 无锡华润华晶微电子有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/76 | 分类号： | B01D53/76;B01D53/75;B01D53/18;B01D47/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 臧霁晨;高为 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市国*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及CVD工艺的尾气净化装置。该CVD工艺的尾气净化装置具备：高温反应桶（100），通入尾气，使尾气与空气中的氧气发生氧化反应；冷却吸收塔（200），通入从高温反应桶排出的气体，用通入的冷却过滤液冷却通入的气体、过滤颗粒；净化吸附塔（300），利用通入的冷却过滤液和空心球对从冷却吸收塔（200）排出的气体进行净化、吸附颗粒；蓄液槽（400），积存提供给冷却吸收塔（200）和净化吸附塔（300）的冷却过滤液；以及泵（500），将所述蓄液槽（400）中的冷却过滤液抽至冷却吸收塔（200）和净化吸附塔（300）。利用本发明的CVD工艺的尾气净化装置能够得到占用体积小、净化效率高、去除彻底的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | cvd 工艺 尾气 净化 装置 | ||
【主权项】：
一种CVD工艺的尾气净化装置，其特征在于，具备：高温反应桶（100），通入CVD工艺的尾气，使所述尾气与空气中的氧气发生氧化反应；冷却吸收塔（200），通入从所述高温反应桶排出的气体，用通入的冷却过滤液冷却通入的气体、过滤颗粒；净化吸附塔（300），利用通入的冷却过滤液和空心球对从所述冷却吸收塔（200）排出的气体进行净化、吸附颗粒；蓄液槽（400），积存提供给所述冷却吸收塔（200）和净化吸附塔（300）的冷却过滤液；以及泵（500），将所述蓄液槽（400）中的所述冷却过滤液抽至所述冷却吸收塔（200）和所述净化吸附塔（300）。
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