[发明专利]用于补偿照明扫描向刀口驱动反力的装置及光刻设备有效
| 申请号： | 201110416797.X | 申请日： | 2011-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN103163738A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 王天明 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于补偿照明扫描向刀口驱动反力的装置，包括：主支架（1）、Y方向支架（19）、Y方向刀口驱动装置（b1）、X方向支架（11a）、X方向刀口驱动装置（b2），该X方向刀口驱动装置设置在该X方向支架上，该X方向支架设置在该主支架上，该Y方向刀口驱动装置设置在该Y方向支架上；还包括补偿单元和支撑簧片，该Y方向支架的底部通过该补偿单元设置在该主支架上，该Y方向支架的侧壁通过该支撑簧片与该主支架连接。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 补偿 照明 扫描 刀口 驱动 装置 光刻 设备 | ||
【主权项】：
一种用于补偿照明扫描向刀口驱动反力的装置，包括：主支架、Y方向支架、Y方向刀口驱动装置、X方向支架、X方向刀口驱动装置，所述X方向刀口驱动装置设置在所述X方向支架上，所述X方向支架设置在所述主支架上，所述Y方向刀口驱动装置设置在所述Y方向支架上；其特征在于： 还包括补偿单元和支撑簧片，所述Y方向支架的底部通过所述补偿单元设置在所述主支架上，所述Y方向支架的侧壁通过所述支撑簧片与所述主支架连接。
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