[发明专利]蒸镀掩膜板对位系统有效
| 申请号： | 201110417068.6 | 申请日： | 2011-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN103160775A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 敖伟;邱勇;陈红;黄秀颀;何麟 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 杨林洁;黄晓明 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀掩膜板对位系统，其包括设置在掩膜板的四个边角上的第一对位标识、设置在基板上的四个用以分别和第一对位标识进行相对位的第二对位标识、以及设置在掩膜板正上方的用以判断第一对位标识和第二对位标识是否对齐吻合的四个摄像头，该摄像头分别具有观察到第一对位标识和第二对位标识的可视范围，如此可以节省对位时间，并且可以节省基板和有机材料。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩膜板 对位 系统 | ||
【主权项】：
一种蒸镀掩膜板对位系统，其特征在于：其包括设置在掩膜板的四个边角上的第一对位标识、设置在基板上的四个用以分别和第一对位标识进行相对位的第二对位标识、以及设置在掩膜板正上方的用以判断第一对位标识和第二对位标识是否对齐吻合的四个摄像头，该摄像头分别具有观察到第一对位标识和第二对位标识的可视范围。
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