[发明专利]一种全球面折反式光刻投影物镜

摘要

本发明提供一种全球面折反式光刻投影物镜，包括耦合镜组G1、折反镜组G2、会聚透镜组G3以及孔径光阑，所述折反镜组G2包括第二镜片L2和第三镜片L3，第二镜片L2和第三镜片L3之间的距离的取值范围为45mm～35mm；上述各部件沿光束入射方向的顺序关系为：耦合镜组G1、第二镜片L2、孔径光阑、第三镜片L3以及会聚透镜组G3，且所述各部件的中心在同一直线上。本发明采用了具有折反功能的第二镜片L2和第三镜片L3，使光路在第二镜片L2和第三镜片L3之间发生多次折反，因此增加本发明光刻投影物镜设计的自由度，提高校正像差的能力，特别是球差和彗差，有益于实现高数值孔径物镜。

主权项

一种全球面折反式光刻投影物镜，其特征在于：包括耦合镜组G1、折反镜组G2、会聚透镜组G3以及孔径光阑，所述折反镜组G2包括第二镜片L2和第三镜片L3，第二镜片L2和第三镜片L3之间的距离的取值范围为45mm～35mm；上述各部件沿光束入射方向的顺序关系为：耦合镜组G1、第二镜片L2、孔径光阑、第三镜片L3以及会聚透镜组G3，且所述各部件的中心在同一直线上；所述第二镜片L2为弯月负透镜，其厚度范围为9～15mm；前表面为凸面，其曲率半径的取值范围为60～85mm；后表面为凹面，其曲率半径的取值范围为55～80mm；前表面中心区域为镀有抗反膜AR的透射面，外环边缘区域为镀有高反膜HR的反射面，且该中心区域为直径等于φ2的圆，其中9mm＜φ2＜23mm；后表面镀有抗反膜AR；所述第三镜片L3的前表面是平面，后表面的中心区域为镀有高反膜HR的凸面反射面，且该凸面反射面的曲率半径的取值范围为12mm～25mm，后表面的外环边缘区域为镀有抗反膜AR的平面透射面；该后表面中心区域为直径等于φ3的圆，其中7mm＜φ3＜15mm。