[发明专利]更新校准数据的方法和器件制造方法

摘要

本发明涉及一种更新校准数据的方法和器件制造方法。一种用于更新第一位置检测系统的校准数据的方法，所述第一位置检测系统适合于确定物体的位置，所述第一位置检测系统包括目标和多个传感器，所述目标和所述传感器中的一者被安装到所述物体上，所述校准数据包括表观测量位置与实际位置的关联系数，所述系数能够被用于将所述表观测量位置转换成所述实际位置，由此校正所述第一位置检测系统的物理缺陷和能够根据所述表观测量位置确定所述实际位置。

主权项

一种用于更新第一位置检测系统的校准数据的方法，所述第一位置检测系统适合于确定物体的位置，所述第一位置检测系统包括目标和传感器，所述目标或所述传感器被安装到所述物体上，所述校准数据包括所述物体的表观测量位置与所述物体的实际位置的关联系数，所述系数被用于将所述表观测量位置转换成所述实际位置，以校正所述第一位置检测系统的误差和能够根据所述物体的表观测量位置确定所述物体的实际位置，所述方法包括：使用独立于所述第一位置检测系统的第二位置检测系统确定所述物体的位置；计算由所述第二位置检测系统检测的所述位置与由所述第一位置检测系统确定的所述物体的位置之间的差别；和在假定由所述第二位置检测系统确定的位置是所述物体的实际位置的情况下，利用所计算的差别由所述第一位置检测系统更新所述物体的相应的表观测量位置的系数，其中在所述物体的正常使用时间段期间进行测量，所述测量被进行用以确定被使用的物体的位置以计算所述差别。