[发明专利]石墨舟冷却卸片推车

摘要

石墨舟冷却卸片推车，涉及太阳能电池PECVD工序硅片的卸取，具体涉及一种带有硅片冷却的卸片推车，主要由一个总体钢质支架5，通过一个固定支架4将石墨舟支撑板将石墨舟支撑板2连接为一个整体，在石墨舟支撑板下固定有四个冷却装置3在卸片台的最顶端安装有花篮支架1用于卸片使用。结构简单，操作方便，可以在卸片的同时，对硅片进行冷却，减少流转时间，并能有效的节省空间。

主权项

一种石墨舟冷却卸片推车，其特征在于卸片台有一个总体钢质支架，通过一个固定支架将石墨舟支撑板连接为一个整体，在石墨舟支撑板下固定冷却装置，在推车的最顶端安装有花篮支架用于卸片花篮的摆放，可以左右移动。