[发明专利]微机电系统装置及其半成品及制造方法有效
| 申请号： | 201110418320.5 | 申请日： | 2011-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN102530819A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 吴华书;锺士勇;钱元晧;曾立天;叶裕德 | 申请（专利权）人： | 美商明锐光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆勍 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种微机电系统装置的制造方法是设置一导电电路以维持微机电系统的各个元件为等电位，以防止制造过程中静电对微机电系统的各个元件所造成的破坏。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 装置 及其 半成品 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微机电系统装置的半成品，其特征在于，包含：一基板；一微机电系统，其设置于基板，所述微机电系统包含：一可动元件；以及一功能元件，其与所述可动元件耦合，用以感测所述可动元件的一运动物理量，并输出一对应的感测信号，或控制所述可动元件产生所需的所述运动物理量；以及一导电电路，其设置于所述基板，且与所述可动元件以及所述功能元件电性连接，以使所述可动元件以及所述功能元件为等电位。
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