[发明专利]固态图像传感器、制造该固态图像传感器的方法和照相机

摘要

本发明涉及固态图像传感器、制造该固态图像传感器的方法和照相机。图像传感器包括第一导电类型的电荷蓄积区域、由第二导电类型的杂质半导体区域形成的隔离半导体区域、位于隔离半导体区域上由第二导电类型的杂质半导体区域形成的沟道阻挡区域、以及布置在沟道阻挡区域上的绝缘体。绝缘体包括：第一绝缘部分，经由沟道阻挡区域布置在隔离半导体区域的上方；第二绝缘部分，布置为与第一绝缘部分的外侧相邻，其中第二绝缘部分的厚度随着距第一绝缘部分的距离的增大而减小；以及第三绝缘部分，形成在第一绝缘部分上，其中第三绝缘部分具有上表面和侧面，侧面使第三绝缘部分的上表面与第二绝缘部分的上表面相连。

主权项

一种固态图像传感器，包括：在半导体区域中形成的第一导电类型的电荷蓄积区域；隔离半导体区域，形成在半导体区域中并且由第二导电类型的杂质半导体区域形成；沟道阻挡区域，由位于半导体区域中的第二导电类型的杂质半导体区域形成并且形成在隔离半导体区域上；以及绝缘体，布置在沟道阻挡区域上，其中，绝缘体包括第一绝缘部分，经由沟道阻挡区域布置在隔离半导体区域的上方；第二绝缘部分，布置为与第一绝缘部分的外侧相邻，其中第二绝缘部分的厚度随着距第一绝缘部分的距离的增大而减小；以及第三绝缘部分，形成在第一绝缘部分上，其中，第三绝缘部分具有上表面和侧面，侧面使第三绝缘部分的上表面与第二绝缘部分的上表面相连。