[发明专利]一种二硼化钛-镍涂层或薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201110418928.8 | 申请日： | 2011-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN103160776A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 黄峰;葛芳芳;王博;王怀勇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人： | 袁忠卫 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种二硼化钛-镍涂层或者薄膜及其制备方法，其特征在于该涂层或者薄膜是以TiB2为主晶相，金属Ni为次晶相利用物理气相沉积技术原位复合而成的，其中TiB2含量为65-95at.％，Ni含量为5-35at.％；所述涂层或者薄膜的基板采用单晶硅、玻璃、高速钢、合金钢或者钛合金等，薄膜的厚度为20nm-1um；涂层的厚度为1um-1mm。本发明设计了一种新涂层材料体系，即原位合成的金属Ni增韧的TiB2涂层或者薄膜，涂层硬度高达25GPa以上，导电性能良好，同时具有良好的韧性和抗腐蚀、抗烧蚀性能及优异的摩擦、磨损性能，可以广泛应用于刀具、模具、电接触、防护等领域；并且制备工艺简单，生产周期短，成本低，便于大规模工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二硼化钛 涂层 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种二硼化钛‑镍涂层或者薄膜，其特征在于该TiB2‑Ni涂层或者薄膜是以TiB2为主晶相，金属Ni为次晶相利用物理气相沉积技术原位复合而成的复合涂层或者薄膜材料，其中TiB2含量为65‑95at.％，Ni含量为5‑35at.％。
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