[发明专利]一种垂直梯度冷凝制造薄膜电池的装置

摘要

本发明涉及一种制造薄膜电池的装置，特别是一种温度梯度控制的薄膜电池的制造装置，包括分段温控系统、升降系统、水冷系统、气路控制系统和真空系统，所述分段温控系统、升降系统、水冷系统、气路控制系统和真空系统都与控制系统相连接。采用上述结构后，通过在下炉体原料反应平台上高温反应得到需要的反应物。通入气体将反应物带入到上炉体，中间通过分隔区冷却，反应物沉积在上炉体的基片上，形成薄膜电池。通过对上下炉体的分区温控，使得炉体内各个位置的温度达到制造薄膜电池的要求，这样的成型过程更加的简单快捷。

主权项

一种垂直梯度冷凝制造薄膜电池的装置，包括机体和加热炉体，所述加热炉体设置在机体内部，其特征在于：所述加热炉体外部设置有分段温控系统，所述分段温控系统外部设置有保温层；所述保温层中间设置有分隔区，将保温层分为上下两段；所述加热炉体上端设有基片吊篮，所述加热炉体下端设有原料反应平台，所述炉体上下端分别连接有独立的上、下端升降系统；所述加热炉体上下端设置有密封水冷法兰，所述密封水冷法兰上连接有水冷系统；气路控制系统和真空系统穿过所述下端密封水冷法兰与炉体相通；所述分段温控系统、升降系统、水冷系统、气路控制系统和真空系统都与控制系统相连接。