[发明专利]一种光纤压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201110419923.7 | 申请日： | 2011-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN103162878A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 黄辉;刘蓬勃;曹暾;唐祯安;渠波;齐振彬;任明坤;刘学宇;吴海波 | 申请（专利权）人： | 黄辉;刘蓬勃;曹暾 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L11/02;G01H9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116024 辽宁省大连市甘井*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光纤压力传感器及其制备方法，本发明的特征是：传感器中光纤的纤芯位置偏离悬膜中轴线，受压时入射光被弧形悬膜斜反射，从而反射进入光纤的强度可以作为探测的敏感量；同时，利用牺牲层实现弹性薄膜从衬底分离从而获得弹性悬膜，而弹性悬膜的边缘仍然保持和衬底固定在一起。因此可以将很薄的悬膜(厚度可以小于10微米)转移并固定到传感器上，并且可以精细控制悬膜与光纤端面之间的距离(间距可以小于10微米)，该传感器具有体积小、使用简便以及灵敏度高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种光纤压力传感器及其制备方法，其特征是：传感器中光纤的纤芯位置偏离悬膜中轴线，受压时入射光被弧形悬膜斜反射，从而反射进入光纤的强度可以作为探测的敏感量；利用牺牲层实现弹性薄膜从衬底分离从而获得弹性悬膜，而弹性悬膜的边缘仍然和衬底固定在一起。
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