[发明专利]用氦气检测多腔容器密封性的方法

摘要

本发明公开了一种用氦气检测多腔容器密封性的方法，包括氦质谱检漏仪、真空滑阀泵、罗茨泵、高真空挡板阀和集合管、密封装置、在集合管上至少设有第一、第二、第三连接管路，步骤一：进行外漏检测，将各连接管路的下端接口JB分别与待测多腔容器密的相应腔室的入口一一对应密封卡接或密封螺接，开启真空滑阀泵抽真空，用密封装置将板翅换热器密封包住并充填氦气，然后将氦质谱检漏仪依次接各连接管路的接口JA检测；步骤二：进行内漏检测，将氦气充至多腔容器密的第一腔室内，检测多腔容器密的第一腔室分别与多腔容器密的其它腔室之间的相互泄漏情况；以此类推。本发明可以减少工作程序，缩短工作时间，提高工作效率，低碳环保。

主权项

一种用氦气检测多腔容器密封性的方法，包括氦质谱检漏仪（1），顺次相连的真空滑阀泵（2）、罗茨泵（3）、高真空挡板阀（4）和集合管（5），及用于密封待测的多腔容器或多个容器且可充放氦气的密封装置，在所述集合管（5）上自左至右至少设有第一连接管路（6）、第二连接管路（6）、第三连接管路（6）三个连接管路（6），每个所述连接管路（6）上设有用于关闭和开启该连接管路（6）的阀FA（7），在该阀FA（7）下方的连接管路（6）上设有与所述氦质谱检漏仪（1）可拆卸连接的接口JA（8），在该接口JA（8）上设有用于关闭和开启该接口JA（8）的阀FB（9），每个所述连接管路（6）的下端设有与待测多腔容器（19）入口可拆卸连接的接口JB（10），其特征在于包括以下步骤：步骤一：进行外漏检测将各连接管路（6）的下端接口JB（10）分别与待测多腔容器密（19）的相应腔室的入口一一对应密封卡接或密封螺接，将各连接管路（6）的阀FA（7）都打开，将各连接管路（6）的阀FB（9）都关闭，开启真空滑阀泵（2）、罗茨泵（3），进行抽真空，抽真空完毕后，关闭各个阀FA（7），用密封装置将板翅换热器（19）密封包住，并在密封装置内充填氦气，然后，将氦质谱检漏仪（1）依次接各连接管路（6）的接口JA（8），连接时开启相应的阀FB（9），检测各腔室的外漏；步骤二：进行内漏检测将各连接管路（6）的阀FA（7）都关闭，将氦气通过第一连接管路（6） 的阀FB（9） 充至多腔容器密（19）的第一腔室内，氦质谱检漏仪（1）依次接第二连接管路（6）的接口JA（8）、第三连接管路（6）的接口JA（8），连接时开启相应的阀FB（9），检测多腔容器密（19）的第一腔室分别与多腔容器密（19）的第二腔室、第三腔室之间的相互泄漏情况；将氦气通过第二连接管路（6） 的阀FB（9） 充至多腔容器密（19）的第二腔室内，氦质谱检漏仪（1）接第三连接管路（6）的接口JA（8），连接时开启阀FB（9），检测多腔容器密（19）的第二腔室与多腔容器密（19）的第三腔室之间的相互泄漏情况。