[发明专利]用于沉积薄膜的掩模板框架组装件及其制造方法有效
| 申请号： | 201110422163.5 | 申请日： | 2011-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN102560336A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 申义信;朴宰奭;曹永根;金玗冬;金圭范;许晸宇 | 申请（专利权）人： | 三星移动显示器株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 余朦;王艳春 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了采用多个条状分割掩模板的掩模板框架组装件。公开的掩模板框架组装件包括多个分割掩模板，所述多个分割掩模板具有与单位画面对应的、用于沉积的图案，各个分割掩模板被形成为，多个部分掩模板得以结合以形成与单位画面对应的用于沉积的图案。根据这种结构，可以在未增加蚀刻误差的负担的情况下简单地制造能够容纳与大型画面对应的图案的分割掩模板。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 薄膜 模板 框架 组装 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于沉积薄膜的掩模板框架组装件，包括：框架，形成有开口部；以及多个分割掩模板，具有与单位画面对应的、用于沉积的图案，并且其两端部固定至所述框架以使所述用于沉积的图案位于所述开口部；所述各个分割掩模板被形成为，通过多个部分掩模板的结合以构成与所述单位画面对应的、用于沉积的图案。
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