[发明专利]一种GaAs系太阳能电池的多层减反射膜

摘要

本发明公开了一种GaAs系太阳能电池的多层减反射膜，包括至少两层减反射膜，由SiNX、MgF2、TiOX、Al2OX、SiO2、ZnO薄膜中的两种或两种以上层叠形成；该多层减反射膜是利用PECVD，EBE等技术，在GaAs系太阳能电池窗口层或顶电池窗口层上生长SiNX、MgF2、TiOX、AlOX、SiO2、ZnO等薄膜，通过多层堆叠的方式，形成叠层减反射膜结构；通过子层薄膜的材料选择、厚度匹配和光路设计，达到最佳的多波段减反射效果，在提高电池效率的同时兼顾抗紫外、抗老化、耐高温的要求，是一种应用于GaAs系太阳能电池的理想减反射膜结构。

主权项

一种GaAs系太阳能电池的多层减反射膜，其特征在于：所述多层减反射膜设置于GaAs系太阳能电池的上面；所述多层减反射膜包括至少两层减反射射膜，由SiNX、MgF2、TiOX、Al2OX、SiO2、ZnO薄膜中的两种或两种以上层叠形成。