[发明专利]n-i-n型电光调制器有效
申请号: | 201110424539.6 | 申请日: | 2011-12-16 |
公开(公告)号: | CN102520531A | 公开(公告)日: | 2012-06-27 |
发明(设计)人: | 孙长征;郭丽丽;熊兵;罗毅;赵湘楠 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G02F1/017 | 分类号: | G02F1/017 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹 |
地址: | 100084 北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及光通信中的光电子器件领域,公开了一种n-i-n型电光调制器,从下至上依次包括:衬底、下欧姆接触层、下限制层、下导波层、有源层、上导波层、上限制层和上欧姆接触层,上、下限制层为N型掺杂结构;所述有源层的禁带宽度为Eg1、折射率为n1,上、下导波层的禁带宽度为Eg2、折射率为n2,上、下限制层的禁带宽度为Eg3、折射率为n3,禁带宽度满足Eg1>Eg3>Eg2的关系,折射率满足n2>n1>n3的关系。本发明能够改善电光调制器的调制特性。 | ||
搜索关键词: | 电光 调制器 | ||
【主权项】:
一种n‑i‑n型电光调制器,从下至上依次包括:衬底、下欧姆接触层、下限制层、下导波层、有源层、上导波层、上限制层和上欧姆接触层,其特征在于,上、下限制层为N型掺杂结构;所述有源层的禁带宽度为Eg1、折射率为n1,上、下导波层的禁带宽度为Eg2、折射率为n2,上、下限制层的禁带宽度为Eg3、折射率为n3,禁带宽度满足Eg1>Eg3>Eg2的关系,折射率满足n2>n1>n3的关系。
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