[发明专利]一种硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法有效
| 申请号： | 201110425986.3 | 申请日： | 2011-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN102520470A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 张众;钟奇;王占山 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;G02B1/10;B32B9/04;B32B17/00;C23C14/35;C23C14/18;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 吴林松 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于精密光学元件制作技术领域，公开了一种硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法。本发明的反射镜包括基底(1)和硬铝/碳化硅周期多层膜(2)，硬铝薄膜层(3)和碳化硅薄膜层(4)交替沉积于基底(1)表面上。本发明的反射镜制备方法如下：首先对基底(1)进行清洗，然后在基底(1)上镀制硬铝/碳化硅周期多层膜(2)。本发明的反射镜克服了传统的铝/碳化硅多层膜界面粗糙度和膜层材料相互渗透较大等缺点，降低了制作工艺难度，并将金属材料的价格降低了2个数量级；这种新型的硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜具有成膜质量好、易于制作、价格便宜、光学性能满足需求等优势，更适于实现此类产品的产业化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硬铝 碳化硅 紫外 多层 反射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜，其特征在于：该反射镜包括基底(1)和硬铝/碳化硅周期多层膜(2)，硬铝薄膜层(3)和碳化硅薄膜层(4)交替沉积于基底(1)表面上。
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