[发明专利]一种石榴石型单晶生长用抽吸装置无效
申请号: | 201110427544.2 | 申请日: | 2011-12-20 |
公开(公告)号: | CN102634848A | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 柳祝平;黄小卫;李佼 | 申请(专利权)人: | 元亮科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/28 | 分类号: | C30B29/28;C30B15/00 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人: | 殷红梅;涂三民 |
地址: | 214037 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种制备钆镓石榴石和铽镓石榴石等含有Ga2O3组分的石榴石型单晶生长用抽吸装置,在密闭外壳内固定设置有若干层保温壳,在每层保温壳的顶端部固定有保温顶片,在每块保温顶片的对应位置上开设有出料孔,在保温壳内固定设有生长坩埚,在生长坩埚位置的最外层保温壳的外部设有发热线圈,在保温壳上开设有抽气管安装孔,在抽气管安装孔内插装有抽气管,抽气管的出气端与抽气泵相连;在密闭外壳外设有提拉机构,提拉机构的提拉杆穿过密闭外壳与出料孔。采用本发明的抽吸装置,可以得到了内部基本无散点、无包裹物的大尺寸、高质量的石榴石型单晶。 | ||
搜索关键词: | 一种 石榴石 型单晶 生长 抽吸 装置 | ||
【主权项】:
一种石榴石型单晶生长用抽吸装置,其特征是:在密闭外壳(1)内固定设置有若干层侧壁相贴的保温壳(2),位于外层保温壳(2)的高度大于位于内层保温壳(2)的高度,在每层保温壳(2)的顶端部固定有保温顶片(3),在每块保温顶片(3)的对应位置上开设有出料孔(4),在保温壳(2)内固定设有生长坩埚(5),在生长坩埚(5)位置的最外层保温壳(2)的外部设有发热线圈(6),在保温壳(2)上开设有抽气管安装孔,在抽气管安装孔内插装有抽气管(7),所述抽气管(7)设置在最下层保温顶片(3)的下方,抽气管(7)的进气端伸入最内层保温壳(2)的内部空间中,抽气管(7)的出气端与抽气泵(8)相连;在密闭外壳(1)外设有提拉机构(9),提拉机构(9)的提拉杆穿过密闭外壳(1)与出料孔(4)。
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