[发明专利]在汽车发动机气门挺柱表面制备类金刚石涂层的方法无效
| 申请号： | 201110428096.8 | 申请日： | 2011-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN103160782A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 张俊彦;张斌;张克金;强力;魏晓川;安宇鹏;武斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/00;C23C14/35 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 方晓佳 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用中高频双极脉冲磁控溅射和反应溅射复合的方法，在汽车发动机气门顶柱表面制备具有高结合力、减磨抗磨功能的类金刚石涂层。制备的涂层结合力≥80N，摩擦系数低至0.04N。类金刚石复合涂层，粘着层厚度为0.2～1μm、梯度层厚度为1～3μm，表层厚度为1～5μm。 | ||
| 搜索关键词： | 汽车发动机 气门 表面 制备 金刚石 涂层 方法 | ||
【主权项】：
一种在汽车发动机气门挺柱表面制备类金刚石涂层的方法，其特征在于该方法步骤为：A将汽车发动机气门挺柱进行常规除油清洗，然后在丙酮和乙醇溶液中依次进行超声清洗；B将气门挺柱置于多靶复合溅射沉积系统中并预抽真空至2×10‑3Pa；C高频率脉冲磁控溅射粘着层，以Ti、Si靶为阴极，工作气体为氩气，沉积时间10～30min；D反应磁控溅射缓冲层，以Ti、Si靶为阴极，工作气体为氩气和甲烷或氩气和乙烯或氩气和氮气，沉积时间30～60min；E反应溅射沉积成分渐变复合类金刚石涂层，工作气体为氩气和甲烷或氩气和乙烯，沉积时间600～120min；自然冷却后得到多层类金刚石复合涂层。
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