[发明专利]光谱测量系统与光谱测量方法无效
| 申请号： | 201110428438.6 | 申请日： | 2011-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103115677A | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | 杨富程;庄凯评 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/28 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光谱测量系统与光谱测量方法，该光谱测量系统包括：一第一无聚焦模块，用以接收一待测物所发出的一入射光，使得入射光平行于一系统法线；一第一光栅，用以将不同波长的入射光绕射成不同的出射角度；一第二无聚焦模块，从第一光栅所输出的入射光中筛选出一特定波长，使得第一光栅只输出具有特定波长的一绕射光；一第二光栅，用以消除绕射光的光程差；以及一第三无聚焦模块，用以接收从第二光栅所输出的绕射光，以便输出与系统法线平行的一单色光。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
一种光谱测量系统，包括：第一无聚焦模块，用以接收一待测物所发出的一入射光，使得上述入射光平行于一系统法线；第一光栅，用以将不同波长的上述入射光绕射成不同的出射角度；第二无聚焦模块，从上述第一光栅所输出的上述入射光中筛选出一特定波长，使得上述第二无聚焦模块只输出具有上述特定波长的一绕射光至第二光栅；第二光栅及无聚焦模块，用以消除上述绕射光的光程差；以及第三无聚焦模块，用以接收从上述第二光栅所输出的上述绕射光，以便输出与上述系统法线平行的一单色光。
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