[发明专利]生产管理系统和生产管理方法

摘要

本发明涉及生产管理系统和生产管理方法。在手动搬运／离线装置存在的生产线中，对装置状态进行在线管理，以低投资进行面向装置管理、省人工化的导航功能，由此即使是存在离线装置的生产线也能实现利用生产管理系统的伪在线管理。具有：主机装置(3)，具有批次的处理流程进展管理功能；以及管理个人计算机(2)，读取以点亮通知对离线装置(6)附加的装置运转状况的信号塔信号，将离线装置(6)的装置状态信息(异常(报警)、运转/非运转状态信息；装置是否空闲的信息)向主机装置(3)发送，主机装置(3)基于离线装置(6)的装置状态信息(异常(报警)、运转/非运转状态信息；装置是否空闲的信息)，对各管理个人计算机(2)进行离线装置(6)的批次的操作指示。

主权项

一种生产管理系统，其中，在使用至少包含离线装置的一个或多个处理装置来制造半导体元件的半导体制造工序中，所述生产管理系统具有：主机装置，其对该一个或多个处理装置具有批次的处理流程进展管理功能；以及管理个人计算机，读取以点亮/非点亮通知对该离线装置附加的装置运转状况的信号塔信号，向该主机装置发送该离线装置的装置状态信息，该主机装置基于该至少包含离线装置的一个或多个处理装置的装置状态信息，经由对应的该处理装置的该管理个人计算机，使包含该离线装置的一个或多个处理装置的各批次的操作指示信息输出。