[发明专利]一种场发射压力传感器无效
| 申请号： | 201110431614.1 | 申请日： | 2011-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN103162899A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 杨立斌;李程 | 申请（专利权）人： | 西安威正电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/30 | 分类号： | G01L21/30 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种场发射压力传感器，包括电子发射阳极，电子发射阳极的底部和电子发射阴极的顶部通过绝缘隔离层连接，电子发射阳极的顶部设有第一电极引线，电子发射阴极的底部设有第二电极引线，电子发射阳极底部和电子发射阴极顶部的凹进部分形成发射腔体，在电场作用下，电子发射阴极的电子发射材料发射电子，向电子发射阳极运动形成发射电流，如果电子发射阳极和电子发射阴极之间的距离发生变化，导致发射电流发生变化，电子发射阳极对外力敏感、容易形变，根据发射电流和变形的关系，通过测量发射电流得出相应的压力数值，本发明具有结构简单的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 发射 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种场发射压力传感器，其特征在于：包括电子发射阳极(1)，电子发射阳极(1)的底部和电子发射阴极(2)的顶部通过绝缘隔离层(3)连接，电子发射阳极(1)的顶部设有第一电极引线(4)，电子发射阴极(2)的底部设有第二电极引线(5)，电子发射阳极(1)底部和电子发射阴极(2)顶部的凹进部分形成发射腔体。
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