[发明专利]一种制作掩膜板的方法和掩膜板无效
| 申请号： | 201110434246.6 | 申请日： | 2011-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN102492920A | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | 张雪峰;柯贤军;苏君海;何基强;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 516600 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制作掩膜板的方法和掩膜板，该方法包括：提供一指定厚度的玻璃基板；依据设定的掩膜图案，在该玻璃基板上制作出蒸镀所需的孔洞和对位标；将制作出孔洞和对位标的玻璃基板粘贴到与该玻璃基板相匹配的掩膜金属框架中，得到蒸镀用掩膜板。利用该方法制作掩膜板无需采用复杂的焊接工艺，制作工艺简单，且该方法制作的掩膜板在空气中不会被腐蚀，比较容易维护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制作 掩膜板 方法 | ||
【主权项】：
一种制作掩膜板的方法，其特征在于，包括：提供一指定厚度的玻璃基板；依据设定的掩膜图案，在所述玻璃基板上制作出蒸镀所需的孔洞和对位标；将制作出孔洞和对位标的玻璃基板粘贴到与所述玻璃基板相匹配的掩膜金属框架中，得到蒸镀用掩膜板。
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