[发明专利]一种三明治式透明导电薄膜及制备方法有效
| 申请号： | 201110435160.5 | 申请日： | 2011-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN103171187A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 姜来新;毛启明;尹桂林;李文英;何丹农 | 申请（专利权）人： | 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 |
| 主分类号： | B32B15/04 | 分类号： | B32B15/04;B32B15/20;B32B9/04;C23C14/35;C23C14/08;C23C16/40;C23C16/44;C23C14/18;C23C28/00 |
| 代理公司： | 上海东方易知识产权事务所 31121 | 代理人： | 唐莉莎 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种三明治式结构的透明导电薄膜，其特征在于，所述透明导电薄膜的模系氧化锌/铜/氧化锌。所述氧化锌薄膜的厚度为20-400nm，所述铜膜的厚度为2-8nm。本发明还提供一种三明治式结构的透明导电薄膜的制备方法，即运用原子层沉积或磁控溅射方法制备高质量的氧化锌薄膜作为底层薄膜和上层薄膜，运用磁控溅射方法制备铜薄膜作为中间层。铜膜厚度在2-8nm范围时，这种三明治式透明导电薄膜，同时具有优异的电导性能和良好的光学透过率，技术参数达到可商业化应用的水平。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三明治 透明 导电 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种三明治式结构的透明导电薄膜，其特征在于，所述透明导电薄膜的模系氧化锌/铜/氧化锌。
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