[发明专利]一种常压辉光等离子体增强原子层沉积装置

摘要

一种常压辉光等离子体增强原子层沉积装置，包括主腔室，所述主腔室内设有前驱体源进气管道口、等离子发生器上电极和等离子发生器下电极，所述等离子发生器下电极下方设有加热器，所述等离子发生器上电极和等离子发生器下电极之间形成气流通道，所述前驱体源进气管道口的出口正对气流通道，其进口与源进气加热管道连接，所述源进气加热管道与载气钢瓶连接，所述源进气加热管道上连接有前驱体源瓶；所述等离子发生器上电极和等离子发生器下电极与射频电源连接，所述等离子发生器上电极上设有多个将等离子体放电气体引入的通气孔，所述通气孔均与等离子体放电气体瓶连接；所述加热器、射频电源均连接到PLC上，所述PLC与计算机连接。

主权项

一种常压辉光等离子体增强原子层沉积装置，包括相对封闭的反应腔室，其特征在于：所述反应腔室包括主腔室，所述主腔室内设有前驱体源进气管道口、正对设置的等离子发生器上电极和等离子发生器下电极，所述等离子发生器下电极上放置有样品，所述等离子发生器下电极下方设有加热器，所述等离子发生器上电极和等离子发生器下电极之间形成气流通道，所述前驱体源进气管道口的出口正对气流通道，其进口与源进气加热管道连接，所述源进气加热管道与载气钢瓶连接，所述源进气加热管道上连接有前驱体源瓶；所述等离子发生器上电极和等离子发生器下电极与射频电源连接，所述等离子发生器上电极上设有多个将等离子体放电气体引入的通气孔，所述通气孔均与等离子体放电气体瓶连接；所述加热器、源进气加热管道上的加热系统和射频电源均连接到PLC上，所述PLC与计算机连接。