[发明专利]用于清洗和干燥晶圆盒的装置及方法有效
| 申请号： | 201110436915.3 | 申请日： | 2011-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN103170469A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 吴良辉 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;F26B21/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于清洗和干燥晶圆盒的装置，包括清洗腔、用于支撑若干晶圆盒的支架、外接清洗液源的清洗液喷管、排液管路及排气管路，所述排液管路及所述排气管路分别连接于所述清洗腔的底部，所述支架与清洗液喷管设于所述清洗腔内，所述用于清洗和干燥晶圆盒的装置还包括外接干燥气源的干燥气体喷管，所述干燥气体喷管设于所述清洗腔内。本发明还公开了一种用于清洗和干燥晶圆盒的方法。本发明除了在清洗腔内设置外接清洗液源的清洗液喷管，还设置外接干燥气源的干燥气体喷管，使用干燥气体不但可以驱走清洗腔内的超纯水水汽，而且可以吸干所有凝结在晶圆盒内的凝结水，实现对晶圆盒的全面、充分干燥。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清洗 干燥 晶圆盒 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于清洗和干燥晶圆盒的装置，包括清洗腔、用于支撑若干晶圆盒的支架、外接清洗液源的清洗液喷管、排液管路及排气管路，所述排液管路及所述排气管路分别连接于所述清洗腔的底部，所述支架与清洗液喷管设于所述清洗腔内，其特征在于，所述用于清洗和干燥晶圆盒的装置还包括外接干燥气源的干燥气体喷管，所述干燥气体喷管设于所述清洗腔内。
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