[发明专利]电极、使用该电极的光电转换器件及其制造方法有效
申请号: | 201110439853.1 | 申请日: | 2011-12-23 |
公开(公告)号: | CN102569534A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 小田雄仁;广濑贵史;田中幸一郎;加藤翔;肥塚绘美 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
主分类号: | H01L31/20 | 分类号: | H01L31/20;B41M1/12;H01L31/0224;H01L31/075 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 钱孟清 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供了一种微小电极、包括该微小电极的光电转换器件及其制造方法。在基板中形成有多个平行沟槽部分以及夹在这些沟槽部分之间的区域,并且导电树脂被提供给这些沟槽部分和该区域并且固定,由此用导电树脂来填充这些沟槽部分,并且用导电树脂来覆盖该区域。所提供的导电树脂没有向外扩展,并且可以形成具有设计宽度的电极。在夹在这些沟槽部分之间的区域上形成该电极的一部分,由此短轴方向上的横截面的面积可以是很大的,并且可以获得长轴方向上的低电阻。 | ||
搜索关键词: | 电极 使用 光电 转换 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种用于制造电极的方法,包括以下步骤:形成多个平行沟槽部分;向所述多个平行沟槽部分以及夹在所述多个平行沟槽部分之间的区域提供导电材料,使得所述导电材料与所述多个平行沟槽部分之间的区域相接触;以及固定所述导电材料。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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