[发明专利]湿法蚀刻工艺的先进工艺控制方法无效
| 申请号： | 201110441122.0 | 申请日： | 2011-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103173766A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 刘佳磊 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/00 | 分类号： | C23F1/00;C23F1/08;C30B33/10 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;顾珊 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种湿法蚀刻工艺的先进工艺控制方法，该方法包括以下步骤：通过测量装置测量，得到湿法蚀刻前膜的全图或线性膜厚度；减去湿法蚀刻后的目标膜厚度，确定实际的目标湿法蚀刻曲线；和根据所得实际的目标湿法蚀刻曲线确定蚀刻流程进行蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 湿法 蚀刻 工艺 先进 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种湿法蚀刻工艺的先进工艺控制方法，该方法包括以下步骤：通过测量装置测量，得到湿法蚀刻前膜的全图或线性膜厚度；用所得湿法蚀刻前膜的全图或线性膜厚度减去湿法蚀刻后的目标膜厚度，确定实际的目标湿法蚀刻曲线；和根据所得实际的目标湿法蚀刻曲线确定蚀刻流程进行蚀刻。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110441122.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种蓝靛纸
- 下一篇：植物纤维模塑制品自动切边机
