[发明专利]用于制备铝及铝基合金旋转靶材的模具及制作方法无效
申请号: | 201110441978.8 | 申请日: | 2011-12-26 |
公开(公告)号: | CN102430718A | 公开(公告)日: | 2012-05-02 |
发明(设计)人: | 曹兴民;朱振华 | 申请(专利权)人: | 昆山全亚冠环保科技有限公司 |
主分类号: | B22C9/24 | 分类号: | B22C9/24;B22D27/04;C23C14/34 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于制备铝及铝基合金旋转靶材的模具及其方法,一种用于制备铝及铝基合金旋转靶材的模具包括:底座,固定在所述底座上的金属衬管和外模具,所述金属衬管设置在外模具内,所述底座内设置有内部加热器,所述外模具的外部设置有外部加热器,所述金属衬管和所述外模具的顶部之间设置有石墨槽。本发明用于制备铝及铝基合金旋转靶材的模具的旋转溅射靶成本低、制作简单,同时靶材与衬管的结合强度高,具有放电平稳、使用效率高,镀膜效率高等优点。本发明的制备铝及铝基合金旋转靶材的方法,制作的旋转靶材的速度快,成本低,并且寿命高,具有实用价值。 | ||
搜索关键词: | 用于 制备 合金 旋转 模具 制作方法 | ||
【主权项】:
一种用于制备铝及铝基合金旋转靶材的模具,其特征在于,包括:底座,固定在所述底座上的金属衬管和外模具,所述金属衬管设置在外模具内,所述底座内设置有内部加热器,所述外模具的外部设置有外部加热器,所述金属衬管和所述外模具的顶部之间设置有石墨槽。
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