[发明专利]用于制备铝及铝基合金旋转靶材的模具及制作方法无效

专利信息
申请号: 201110441978.8 申请日: 2011-12-26
公开(公告)号: CN102430718A 公开(公告)日: 2012-05-02
发明(设计)人: 曹兴民;朱振华 申请(专利权)人: 昆山全亚冠环保科技有限公司
主分类号: B22C9/24 分类号: B22C9/24;B22D27/04;C23C14/34
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 215300 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种用于制备铝及铝基合金旋转靶材的模具及其方法,一种用于制备铝及铝基合金旋转靶材的模具包括:底座,固定在所述底座上的金属衬管和外模具,所述金属衬管设置在外模具内,所述底座内设置有内部加热器,所述外模具的外部设置有外部加热器,所述金属衬管和所述外模具的顶部之间设置有石墨槽。本发明用于制备铝及铝基合金旋转靶材的模具的旋转溅射靶成本低、制作简单,同时靶材与衬管的结合强度高,具有放电平稳、使用效率高,镀膜效率高等优点。本发明的制备铝及铝基合金旋转靶材的方法,制作的旋转靶材的速度快,成本低,并且寿命高,具有实用价值。
搜索关键词: 用于 制备 合金 旋转 模具 制作方法
【主权项】:
一种用于制备铝及铝基合金旋转靶材的模具,其特征在于,包括:底座,固定在所述底座上的金属衬管和外模具,所述金属衬管设置在外模具内,所述底座内设置有内部加热器,所述外模具的外部设置有外部加热器,所述金属衬管和所述外模具的顶部之间设置有石墨槽。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山全亚冠环保科技有限公司,未经昆山全亚冠环保科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201110441978.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top