[发明专利]用于监测晶体生长的装置无效
申请号: | 201110445401.4 | 申请日: | 2011-12-28 |
公开(公告)号: | CN102534760A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 伊戈尔库兹涅佐夫;伊戈尔柯尔克;马克菲列格勒;刘春艳;毕成;胡春霞 | 申请(专利权)人: | 苏州优晶光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/28 | 分类号: | C30B15/28 |
代理公司: | 张家港市高松专利事务所(普通合伙) 32209 | 代理人: | 孙高 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种自动监测晶体质量变化且在提升轴卡住的情况下不会损坏的用于监测晶体生长的装置,包括支架和设置在支架内的提升轴、支架内顶端设置有称重传感器,称重传感器的下端固定设置有基座,基座内转动设置有从动吊装装置,从动吊装装置的上端位于基座内,其下端伸出基座,提升轴的上端通过轴承转动设置在从动吊装装置下端内,提升轴上套设有传动套,且传动套的上端位于从动吊装装置下端外侧,且传动套的上端与从动吊装装置的下端固定连接,传动套的下端从支架中穿出并于位于支架外部的驱动传动套转动的驱动装置相连,提升轴位于从动吊装装置内的外表面部位设置有槽,槽内设置有圆球,从动吊装装置内埋设有弹簧,该弹簧将圆球抵在槽内。 | ||
搜索关键词: | 用于 监测 晶体生长 装置 | ||
【主权项】:
用于监测晶体生长的装置,包括支架和设置在支架内的提升轴、支架内顶端设置有称重传感器,其特征在于:所述称重传感器的下端固定设置有基座,基座内转动设置有从动吊装装置,从动吊装装置的上端位于基座内,其下端伸出基座,提升轴的上端通过轴承转动设置在从动吊装装置下端内,提升轴上套设有传动套,且传动套的上端位于从动吊装装置下端外侧,且传动套的上端与从动吊装装置的下端之间固定连接,传动套的下端从支架中穿出并于位于支架外部的驱动传动套转动的驱动装置相连,提升轴位于从动吊装装置内的外表面部位设置有槽,槽内设置有圆球,从动吊装装置内埋设有弹簧,该弹簧将圆球抵在槽内,提升轴的下端也从支架内穿出。
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