[发明专利]微机电感测元件及微机电感测元件的制作方法有效
| 申请号： | 201110449259.0 | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN103183304A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 孙志铭;蔡明翰 | 申请（专利权）人： | 原相科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 陈肖梅;谢丽娜 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机电感测元件，其包括一基板、一半导体层、一支撑柱、一第一悬浮臂、一第一连接部、一第二悬浮臂以及一主质量块。半导体层配置于基板上。支撑柱配置于半导体层上。第一悬浮臂配置于支撑柱上，且支撑柱连接第一悬浮臂的一部分。第一连接部直接或间接地连接第一悬浮臂的另一部分。第二悬浮臂具有一第一表面与一相对第一表面的一第二表面，且第一连接部连接第一表面的一部分。主质量块连接第二悬浮臂，且第二悬浮臂的一部分构成主质量块的一部分。本发明还提出一种微机电感测元件的制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 电感 元件 制作方法 | ||
【主权项】：
一种微机电感测元件，其特征在于，包括：一基板；一半导体层，配置于该基板上；一支撑柱，配置于该半导体层上；一第一悬浮臂，配置于该支撑柱上，且该支撑柱连接该第一悬浮臂的一部分；一第一连接部，直接或间接地连接该第一悬浮臂的另一部分；一第二悬浮臂，具有一第一表面与一相对该第一表面的一第二表面，且该第一连接部连接该第一表面的一部分；以及一主质量块，连接该第二悬浮臂，且该第二悬浮臂的一部分构成该主质量块的一部分。
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