[发明专利]化合物半导体器件及其制造方法有效
申请号: | 201110451784.6 | 申请日: | 2011-12-29 |
公开(公告)号: | CN102651385A | 公开(公告)日: | 2012-08-29 |
发明(设计)人: | 美浓浦优一;吉川俊英;多木俊裕 | 申请(专利权)人: | 富士通株式会社 |
主分类号: | H01L29/36 | 分类号: | H01L29/36;H01L29/778;H01L21/265;H01L21/335 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 蔡胜有;董文国 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 将选自例如Fe、C、B、Ti、Cr中的至少一种杂质从化合物半导体叠层结构的背面引入化合物半导体叠层结构的至少一个缓冲层中,以使缓冲层的电阻值变高。 | ||
搜索关键词: | 化合物 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种化合物半导体器件,包括:化合物半导体叠层结构,和其中至少在所述化合物半导体叠层结构的缓冲层处局部地形成有其电阻值高于所述缓冲层的其它部分的区域。
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