[发明专利]一种多磁极束流聚焦调节装置无效
| 申请号： | 201110452397.4 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN103187233A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 张继恒 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/21 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多磁极束流聚焦调节装置，包括：腔体(1)、上磁极组(2)、下磁极组(3)、程控数字电流源(4)。其特征在于上磁极组(2)和下磁极组(3)两排磁极一一相对，均匀分布安装在腔体(1)上，各个磁极线包和程控数字电流源(4)的电流输出端相连，可以使用程控数字电流源(4)调节各个电磁极线包中的电流大小及方向来改变腔体(1)内空间磁场的分布，从而对通过腔体(1)不同位置的离子施加不同的洛伦磁力，改变离子运动偏转方向和偏转角度，满足离子注入机注入角度的和注入均匀性的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁极 聚焦 调节 装置 | ||
【主权项】：
本发明提供一种多磁极束流聚焦调节装置，其特征在于包括：腔体(1)、上磁极组(2)、下磁极组(3)和程控数字电流源(4)。
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