[发明专利]一种基于MEMS技术的瓦斯报警器的测量部件及其制备方法有效
| 申请号： | 201110452721.2 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN103184886A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 高玉翔;牟诗城 | 申请（专利权）人： | 国家纳米技术与工程研究院 |
| 主分类号： | E21F17/18 | 分类号： | E21F17/18;B81B7/00;B81C1/00;G01N27/16 |
| 代理公司： | 天津天麓律师事务所 12212 | 代理人： | 卢枫 |
| 地址： | 300457 天津市滨*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于MEMS技术的瓦斯报警器的测量部件及其制备方法，利用MEMS的优势，将检测部件制作成MEMS芯片，配以一定的处理电路就可以检测空气中的瓦斯浓度，与传统瓦斯报警器相比，使用MEMS方法制作催化燃烧型瓦斯报警器，MEMS报警器测量部件体积小，响应时间短，且准确度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 技术 瓦斯 报警器 测量 部件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于MEMS技术的瓦斯报警器的测量部件，其特征在于其包括堆放在一起的两块长方体硅基，其中一个硅基在与另一个硅基接触面的一侧开有气体通道，所述气体通道为长方体形状的缺口，所述缺口的入口处设置有一层过滤其他气体的活性炭；开有气体通道的硅基在缺口表面的中间位置设有热敏电阻，另一个长方体硅基在其与缺口相对应的表面设置有燃烧元件。
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