[发明专利]一种用于制备胶体晶体的模板及制作该模板的工艺方法有效

专利信息
申请号: 201110454040.X 申请日: 2011-12-29
公开(公告)号: CN102560643A 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 康凯;班群;秦崇德;陈刚 申请(专利权)人: 广东爱康太阳能科技有限公司
主分类号: C30B29/00 分类号: C30B29/00;C30B5/00
代理公司: 广州知友专利商标代理有限公司 44104 代理人: 李海波;侯莉
地址: 528137 广东省佛山市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种用于制备胶体晶体的模板,包括制绒后的硅片作为基板,通过将浆料丝网印刷在所述基板上形成长条形纹路而构成模板,所述纹路在所述基板上呈间隔并列排布以使胶粒被围括在各相邻的纹路之间。还公开了制作上述模板的工艺方法。本发明可实现该模板快速、稳定地生产,使得制备胶体晶体可采用工业化生产,以达到大规模、批量生产的目的,为需要规则化图形的半导体生产提供了基本便利条件;使用本发明制备的胶体晶体,具有胶体晶体覆盖面积大、缺陷数量少、阵列方向可控及厚度容易控制等优点;另外,实现本发明工艺方法的设备采用现有的丝网印刷设备改造而成,制作成本低,生产效率高,碎片率低。
搜索关键词: 一种 用于 制备 胶体 晶体 模板 制作 工艺 方法
【主权项】:
一种用于制备胶体晶体的模板,其特征在于:包括制绒后的硅片作为基板,通过将浆料丝网印刷在所述基板上形成长条形纹路而构成模板,所述纹路在所述基板上呈间隔并列排布以使胶粒被围括在各相邻的纹路之间。
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