[发明专利]具有多个可选择粒子发射器的带电粒子源有效
| 申请号： | 201110454979.6 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102568989A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | N.W.帕克 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;卢江 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及具有多个可选择粒子发射器的带电粒子源。公开了用于聚集粒子束系统的带电粒子源，所述聚集粒子束系统诸如透射电子显微镜（TEM）、扫描透射电子显微镜（STEM）、扫描电子显微镜（SEM）或聚焦离子束（FIB）系统。该源采用可以以带电粒子系统的轴为中心的小区域内的多个可独立寻址发射器。可以单独控制所有发射器以同时实现从一个或多个尖端的发射。仅激活一个发射器的模式与高亮度相对应，而同时激活多个发射器的模式提供了具有较低亮度的高角强度。可以通过顺序地使用单个发射器来延长源寿命。描述了所有发射器的组合的机械和电气对准规程。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 可选择 粒子 发射器 带电 | ||
【主权项】：
一种带电粒子系统，包括：镜筒，用于将带电粒子束聚焦到目标的表面上；带电粒子源，包括多个带电粒子发射器，每个被配置为发射与镜筒的轴大体平行的带电粒子；多个电连接，被配置为一个连接面向所述多个带电粒子发射器中的每个发射器或一组小于所有发射器；以及发射器控制电路，用于控制所述多个带电粒子发射器。
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