[发明专利]包含多酰胺组分的光刻胶无效
| 申请号： | 201110455160.1 | 申请日： | 2011-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN102591145A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | G·P·普罗科普维茨;G·珀勒斯;刘骢;C·吴;C-B·徐;吴俊锡 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/038;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 包含多酰胺组分的光刻胶。提供了包含两个或多个酰胺基团的组分的新的光刻胶组合物。本发明优选的光刻胶可包括具有光致酸不稳定基团的树脂；光致酸产生剂化合物；和多酰胺组份，其可用于减少在光刻胶涂层的非曝光区域中不需要的光生酸扩散。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 多酰胺 组分 光刻 | ||
【主权项】：
一种光刻胶组合物，所述组合物包括：(a)一种或多种树脂；(b)一种或多种光致酸产生剂化合物；和(c)一种或多种多酰胺化合物。
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