[发明专利]单晶炉的热场无效
| 申请号： | 201110455604.1 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103184510A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 汤仁兴 | 申请（专利权）人： | 汤仁兴 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 214434 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单晶炉的热场，其特征在于：它包括炉体（1），所述炉体（1）内设置有保温筒（2），炉体（1）与保温筒（2）之间设置有保温毡（3），所述炉体（1）内部设有坩埚托盘（4），所述坩埚托盘（4）内设有石墨坩埚（6），所述石墨坩埚（6）内设有石英坩埚（7），所述石英坩埚（7）外侧设有加热器（8），所述炉体（1）下部的两侧设置有真空抽口（5），所述真空抽口（5）穿过炉体（1）、保温毡（3）和保温筒（2），并与保温筒（3）和加热器（4）之间的内腔相连通。这种单晶炉的热场能够及时地通过真空抽口将一氧化碳以及热量排除炉体外，提高了单晶硅结晶的速度，并且提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 | ||
【主权项】：
一种单晶炉的热场，其特征在于：它包括炉体（1），所述炉体（1）内设置有保温筒（2），炉体（1）与保温筒（2）之间设置有保温毡（3），所述炉体（1）内部设有坩埚托盘（4），所述坩埚托盘（4）底部通过坩埚轴（5）与炉体（1）底部相固定，所述坩埚托盘（4）内设有石墨坩埚（6），所述石墨坩埚（6）内设有石英坩埚（7），所述石英坩埚（7）外侧设有加热器（8），所述加热器（8）通过加热电极（9）固定在炉体（1）底部，所述炉体（1）下部的两侧设置有真空抽口（5），所述真空抽口（5）穿过炉体（1）、保温毡（3）和保温筒（2），并与保温筒（3）和加热器（4）之间的内腔相连通。
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