[发明专利]喷淋清洗槽有效
| 申请号： | 201110457737.2 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102513302A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 王振荣;刘红兵;黄利松 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种喷淋清洗槽，包括槽体，所述槽体设置有容腔；其特征在于，还包括：第一支架，所述第一支架可移动地设置于容腔内；夹具，所述夹具用于夹持待洗工件，夹具可转动地设置于第一支架上；喷液管，所述喷液管设置有朝向待洗工件的喷液口。本发明中的喷淋清洗槽可利用夹具夹持待洗工件旋转，而且夹具和喷淋管可分别独立地相对运动，喷淋水可清洗待洗工件的各个位置。本发明一次可夹持两个待洗工件清洗，工作效率高。而且，本发明使用时可先将待洗工件夹持在夹具上，再将夹具安装于转轴上，使用更方便。 | ||
| 搜索关键词： | 喷淋 清洗 | ||
【主权项】：
喷淋清洗槽，包括槽体，所述槽体设置有容腔；其特征在于，还包括：第一支架，所述第一支架可移动地设置于容腔内；夹具，所述夹具用于夹持待洗工件，夹具可转动地设置于第一支架上；喷液管，所述喷液管设置有朝向夹具的喷液口。
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