[发明专利]多晶碱法制绒方法无效

专利信息
申请号: 201110459497.X 申请日: 2011-12-31
公开(公告)号: CN103184454A 公开(公告)日: 2013-07-03
发明(设计)人: 叶俊;马超 申请(专利权)人: 上海晶太光伏科技有限公司
主分类号: C23F1/32 分类号: C23F1/32;C30B33/10
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人: 马家骏
地址: 201501 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明的目的在于公开一种多晶碱法制绒方法,它包括如下步骤:(a)对多晶硅片进行预清洗并烘干;(b)将预清洗烘干的多晶硅片放入注入有铸膜液的铸膜槽中进行涂覆;(c)将涂覆有铸膜液的多晶硅片放入通风箱中,使多晶硅片的表面形成一层多孔固膜;(d)将表面具有多孔固膜的多晶硅片放入注入有制绒液的制绒槽中进行制绒,当多孔固膜完全剥离多晶硅片表面时取出既得较好的微孔多晶绒面;与现有技术相比,多晶硅片能够在制绒液中制取得到现行酸法工艺才能得到的多孔绒面,多晶硅片表观更黑,反射率能达到15%-20%,且与现行单晶工艺相匹配,大大减小后续废水处理难度,减小环境污染,实现本发明的目的。
搜索关键词: 多晶 法制 方法
【主权项】:
一种多晶碱法制绒方法,其特征在于,它包括如下步骤:(a)对多晶硅片进行预清洗并烘干;(b)将预清洗烘干的多晶硅片放入注入有铸膜液的铸膜槽中进行涂覆;(c)将涂覆有铸膜液的多晶硅片放入通风箱中风干,使多晶硅片的表面形成一层多孔固膜;(d)将表面具有多孔固膜的多晶硅片放入注入有制绒液的制绒槽中进行制绒,当多孔固膜完全剥离多晶硅片表面时取出既得较好的微孔多晶绒面。
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