[发明专利]压电元件的制造方法、压电元件、压电致动器和头悬架有效
| 申请号： | 201110460191.6 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102593346A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 野岛晃 | 申请（专利权）人： | 日本发条株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L41/18;G11B5/48 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;杨继平 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了压电元件的制造方法、压电元件、压电致动器和头悬架。该压电元件的制造方法能够在压电元件的外围端面上容易地且可靠地形成聚合物涂层而不降低压电元件的产出。该方法包括以下步骤：从基体压电材料板切割压电元件，由此形成外围端面来定义压电元件的外围形状；和通过气相沉积聚合分别在压电元件的外围端面的至少目标区域上形成聚合物涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 制造 方法 致动器 悬架 | ||
【主权项】：
一种压电元件的制造方法，所述压电元件根据施加的电压产生变形，所述方法包括以下步骤：从基体压电材料板切割压电元件，由此形成外围端面来定义所述压电元件的外围形状；和通过气相沉积聚合分别在所述压电元件的外围端面的至少目标区域上形成聚合物涂层。
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