[发明专利]氮化硅坩埚涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201110460459.6 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103183478A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 卢建华;彭春球;刘文涛 | 申请（专利权）人： | 浙江昱辉阳光能源有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/22 | 分类号： | C03C17/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 314117 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种氮化硅坩埚涂层及其制备方法，方法包括：向去离子水中加入粘接剂、分散剂和氮化硅，混合均匀得到浆料；氮化硅、粘结剂和分散剂的重量比为100∶(15～28)∶(5～12)，氮化硅和去离子水的重量比为1∶(3～4)；粘结剂为有机硅烷、硅酸、多元醇、聚乙烯醇和丙烯酸酯中的一种；将浆料喷涂或浸涂于坩埚内表面，在260℃～550℃于惰性气体氛围中进行煅烧和退火。上述氮化硅坩埚涂层的含氧量为1wt％～5wt％。本发明向浆料中加入一定量的粘结剂，并且控制后续的煅烧在氩气氛围中进行，由此避免喷涂过程中产生大量粉尘，提高涂层粘结强度，并控制涂层的含氧量较低，使其能够满足高质量的多晶硅片生产对涂层含氧量的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 坩埚 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氮化硅坩埚涂层的制备方法，包括如下步骤：向去离子水中加入粘接剂、分散剂和氮化硅，混合均匀得到浆料；所述氮化硅、粘结剂和分散剂的重量比为100∶(15～28)∶(5～12)，所述氮化硅和去离子水的重量比为1∶(3～4)；所述粘结剂为有机硅烷、硅酸、多元醇、聚乙烯醇和丙烯酸酯中的一种；将所述浆料喷涂或浸涂于坩埚内表面，在260℃～550℃于惰性气体氛围中进行煅烧和退火。
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