[发明专利]连续生产单晶的设备有效
申请号: | 201110460655.3 | 申请日: | 2011-12-31 |
公开(公告)号: | CN102443845A | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | 付一凡 | 申请(专利权)人: | 北京中晶华业科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 韩国胜;王莹 |
地址: | 101300 北京市顺*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及单晶生产技术领域,公开了一种连续生产单晶的设备。本发明一种连续生产单晶的设备,包括底座、主炉室、炉盖组件、立柱和至少两个副室,每个副室的顶部固定连接有提拉头装置,并配有连续加料装置。优选地,所述副室设置为两个,所述两个副室分别位于立柱的两侧,分别通过可升降和旋转的连接机构与所述立柱相连。本发明采用至少两个副室进行交替拉晶的工作,当其中的一个处于拉晶状态时,其它副室和连续加料装置作生产准备,从而节约了时间,提高了生产效率,辅之以连续加料,形成了连续的单晶生产过程,使得消耗一个坩埚可拉制多根单晶,使得在副室交替更换和连续加料时维持主炉室的温度,进一步节约了能源,降低了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 连续生产 设备 | ||
【主权项】:
一种连续生产单晶的设备,包括底座、主炉室、立柱、炉盖组件和顶部固定连接有提拉头装置的副室,所述副室与炉盖组件的顶部相连,其特征在于,所述副室设置为至少两个,每个副室分别通过可升降和旋转的连接机构与所述立柱连接,所述至少两个副室交替进行拉晶;所述主炉室的外侧设有加料装置,所述加料装置通过波纹管组件与所述炉盖组件相连。
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