[发明专利]基板检测装置无效
| 申请号： | 201110461572.6 | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN103105401A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 李淳钟;禹奉周;朴炳澯 | 申请（专利权）人： | 塞米西斯科株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/89 | 分类号： | G01N21/89;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩明星 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种基板检测装置，这种本发明构成基板检测装置，该基板检测装置对于基板的表面以及边缘部分，构成具有互不相同的聚焦角度的多个照相机之后组合分析由多个照相机拍摄的图像信息。据此，能够精密地检测基板的表面以及边缘部分上的诸如破裂或破碎等破损状态，同时在向工艺室投入基板之前，事先确认基板的质量状态，由此能够防止工艺中基板发生破损。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种基板检测装置，其特征在于，该基板检测装置包括：拍摄部件、照明部以及控制单元，用以通过图像信息分析来检测投入的基板的表面和/或边缘部分是否存在破裂或破损，其中，所述照明部布置在所述基板的上侧或下侧，所述拍摄部件包括具有互不相同布置角度的第一照相机、第二照相机，用以从互不相同的聚焦方向根据从所述照明部提供的光源分别拍摄基板的表面和/或缘边部分。
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