[发明专利]压电泵的传感器无效
申请号: | 201110461769.X | 申请日: | 2011-12-22 |
公开(公告)号: | CN103174635A | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
发明(设计)人: | 周明东 | 申请(专利权)人: | 上海泽生科技开发有限公司 |
主分类号: | F04B51/00 | 分类号: | F04B51/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明属于微流体传输与控制领域引用的微小精密压电泵,具体涉及一种监测压电泵流量的传感器。 | ||
搜索关键词: | 压电 传感器 | ||
【主权项】:
一种压电泵,其特征在于结构包括泵体(1)、进水口(2)、进口阀片(3)、出水口(4)、出口阀片(5)、传感器(6)、电极(8)、压电晶片(9)、金属板体(10):泵体(1)上安装有进水和出水的单向阀,进水阀由进水口(2)和进口阀片(3)组成,出水阀由出水口(4)和出口阀片(5)组成,出口阀片(5)外侧有传感器(6);泵体(1)一侧或两侧为晶片型压电振子,晶片型压电振子由压电晶片(9)和金属板体(10)组成,金属板体(10)靠近泵体(1),压电晶片(9)外侧为电极(8)。
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