[发明专利]使用多层能移动梳状物的MEMS传感器无效
| 申请号： | 201110461891.7 | 申请日： | 2011-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN102589540A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | R·D·霍尔宁;R·苏皮诺 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01C19/5719 | 分类号： | G01C19/5719 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘春元;李家麟 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及使用多层能移动梳状物的MEMS传感器。一种MEMS传感器，包括：基板和至少一个具有第一多个梳状物的检验质量块，其中检验质量块经由一个或多个悬挂梁耦合到基板，使得检验质量块和第一多个梳状物是能移动的。MEMS传感器还包括至少一个固定的锚，其具有第二多个梳状物。第一多个梳状物和第二多个梳状物互相交错。第一多个梳状物和第二多个梳状物中的每一个梳状物包括彼此之间通过一个或多个非导电层来电隔离的多个导电层。每一个导电层单独耦合到各自的电势，以便掩蔽弥散电场以减小由于弥散电场所产生的第一多个梳状物沿感测轴的运动。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 多层 移动 梳状物 mems 传感器 | ||
【主权项】：
一种微机电系统(MEMS)传感器(100)，包括：基板；至少一个检验质量块(102)，所述检验质量块具有第一多个梳状物(104)，其中所述检验质量块经由一个或多个悬挂梁耦合到所述基板，使得所述检验质量块和所述第一多个梳状物是能移动的；至少一个锚(106)，所述锚具有第二多个梳状物(108)，其中所述锚耦合到所述基板，使得所述锚和所述第二多个梳状物相对于基板被固定在适当位置；其中所述第一多个梳状物与第二多个梳状物交错；其中所述第一多个梳状物和第二多个梳状物中的每一个梳状物包括彼此之间通过一个或多个非导电层(316)来电隔离的多个导电层(314)；其中每一个导电层单独耦合到各自的电势，以便掩蔽弥散电场以减小由于所述弥散电场所产生的所述第一多个梳状物沿感测轴的运动。
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