[发明专利]增强的传感器管芯粘接无效
申请号: | 201110462302.7 | 申请日: | 2011-12-10 |
公开(公告)号: | CN102539060A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | A·D·布拉德利;L·F·里克斯;R·A·戴维斯 | 申请(专利权)人: | 霍尼韦尔国际公司 |
主分类号: | G01L15/00 | 分类号: | G01L15/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 原绍辉 |
地址: | 美国新*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本公开涉及增强的传感器管芯粘接,具体描述了用于将传感器管芯粘性联接到衬底(12)的方法和装置。在一些情况下,传感器组件可以包括用粘接剂(32)安装到衬底(12)的压力传感器管芯(18)。压力传感器管芯(18)可制造为包括背侧(44),背侧(44)具有一个或多个粘接特征(42)(例如,凹陷或缺口),其增加了压力传感器管芯(18)与粘接剂(32)接触的表面面积,从而增加了它们之间的粘接力。在一些情况下,该一个或多个粘接特征(42)可限定压力传感器管芯(18)和粘接剂(32)之间的非平面界面,其在一些情况下可减少粘接剂(32)中的裂缝的形成和/或扩展,其还可帮助增加它们之间的粘接力。 | ||
搜索关键词: | 增强 传感器 管芯 | ||
【主权项】:
一种压力传感器组件(10),包括:压力传感器管芯(18),包括:前侧;背侧;压力感测隔膜(26);以及形成在所述压力传感器管芯(18)的背侧中的一个或多个粘接特征(42),其中,所述一个或多个粘接特征(42)增加了所述背侧的表面面积;具有顶侧和底侧的衬底(12),所述衬底(12)限定压力开口(24),其中,所述压力传感器管芯(18)安装在所述压力开口(24)上方,使得所述压力感测隔膜(26)与所述压力开口(24)流体连通;以及粘接剂(32),用于将所述压力传感器管芯(18)的背侧安装到所述衬底(12)的顶侧,其中,所述粘接剂(32)至少部分地填充形成在所述压力传感器管芯(18)的背侧中的所述一个或多个粘接特征(42)。
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